Piezoresistive सेन्सर को संरचना

यस सेन्सरमा, रेसिस्टर स्ट्रिपलाई मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन डायाफ्राममा सिलिकन पिजोरेसिस्टिभ चिप बनाउनको लागि एकीकरण प्रक्रियाद्वारा एकीकृत गरिएको छ, र यस चिपको परिधिलाई शेलमा निश्चित रूपमा प्याक गरिएको छ, र इलेक्ट्रोड लिडहरू बाहिर निस्किन्छन्। Piezoresistive दबाव सेन्सर, जसलाई ठोस-राज्य दबाव सेन्सर पनि भनिन्छ, चिपकने तनाव गेज भन्दा फरक छ, जसले लोचदार संवेदनशील तत्वहरू मार्फत अप्रत्यक्ष रूपमा बाह्य बल महसुस गर्न आवश्यक छ, तर प्रत्यक्ष रूपमा सिलिकन डायाफ्राम मार्फत मापन गरिएको दबाब महसुस गर्दछ।

सिलिकन डायाफ्रामको एक छेउ मापन गरिएको दबाबसँग सञ्चार गर्ने उच्च-दबाव गुहा हो, र अर्को पक्ष वायुमण्डलसँग सञ्चार गर्ने कम-दबाव गुहा हो। सामान्यतया, सिलिकन डायाफ्राम निश्चित परिधि भएको सर्कलको रूपमा डिजाइन गरिएको छ, र व्यास र मोटाईको अनुपात लगभग 20 ~ 60 छ। चार P अशुद्धता प्रतिरोधी स्ट्रिपहरू गोलाकार सिलिकन डायाफ्राममा स्थानीय रूपमा फैलिएका छन् र पूर्ण पुलमा जोडिएका छन्, जसमध्ये दुई कम्प्रेसिभ तनाव क्षेत्रमा छन् र अन्य दुई तन्य तनाव क्षेत्रमा छन्, जो डायाफ्रामको केन्द्रको सन्दर्भमा सममित छन्।

थप रूपमा, त्यहाँ वर्ग सिलिकन डायाफ्राम र सिलिकन स्तम्भ सेन्सर पनि छन्। सिलिकन बेलनाकार सेन्सर पनि सिलिकन सिलिन्डरको क्रिस्टल प्लेनको निश्चित दिशामा फैलाएर प्रतिरोधी स्ट्रिपहरूबाट बनेको हुन्छ, र दुई तन्य तनाव प्रतिरोधी स्ट्रिपहरू र दुई कम्प्रेसिभ तनाव प्रतिरोधी स्ट्रिपहरूले पूर्ण पुल बनाउँदछ।

Piezoresistive सेन्सर अर्धचालक सामग्री को piezoresistive प्रभाव अनुसार अर्धचालक सामग्री को सब्सट्रेट मा प्रसार प्रतिरोध द्वारा बनाईएको एक उपकरण हो। यसको सब्सट्रेट सीधा एक मापन सेन्सर को रूप मा प्रयोग गर्न सकिन्छ, र प्रसार प्रतिरोध एक पुल को रूप मा सब्सट्रेट मा जोडिएको छ।

जब सब्सट्रेट बाह्य बल द्वारा विकृत हुन्छ, प्रतिरोध मानहरू परिवर्तन हुनेछ र पुलले समान असंतुलित आउटपुट उत्पादन गर्नेछ। पिजोरेसिस्टिभ सेन्सरको रूपमा प्रयोग हुने सब्सट्रेटहरू (वा डायाफ्रामहरू) मुख्यतया सिलिकन वेफर्स र जर्मेनियम वेफरहरू हुन्। संवेदनशील सामग्रीको रूपमा सिलिकन वेफर्सबाट बनेका सिलिकन पिजोरेसिस्टिभ सेन्सरहरूले थप ध्यान आकर्षित गरेका छन्, विशेष गरी दबाब र गति नाप्नका लागि ठोस राज्य पिजोरेसिस्टिभ सेन्सरहरू सबैभन्दा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।