Piezoressistive सेन्सरको संरचना

यस सेन्सरमा, प्रतिरोधात्मक पट्टी सिलिकन पासिरोस्टिभलिस्टिभ गरिएका चिप बनाउन एकीकरण प्रक्रियामा एकीकृत गरिएको छ, र यो चिपको परिधिमा स्पष्ट रूपमा प्याकेज गरिएको छ। पाईजासस्टिभ द Chance सेन्सरलाई ठोस-राज्य दबाव सेन्सर भनेर चिनिन्छ, जुन सिलिकन डायफ्राफ्रा मार्फत बाह्य शक्ति अप्रत्यक्ष रूपमा महसुस गर्न आवश्यक छ।

सिलिकन डायाफ्राइफेमको एक पक्ष भनेको एक उच्च विरोधी गुहाको दबावको सामना गर्नु हो, र अर्को तर्फ वातावरणको साथ एक कम दबाव गुफा हो। सामान्यतया, सिलिकन डायाफ्राफेम निश्चित परिधिको साथ सर्कलको रूपमा डिजाइन गरिएको छ, र व्यासको अनुपात 20 ~ 60 हो। चार p अशुद्ध प्रतिरोध स्ट्रिप्स मा अवस्थित छ, जुन एक को केन्द्र मा systry तनाव को साथ हो। डायाफ्राम

थप रूपमा, त्यहाँ वर्ग सिलिकन डायफ्राफ्राम र सिलिकन स्तम्भ सेन्सर पनि छन्। सिलिकन बेलन्तरिक सेन्सर पनि सिलिकन प्लेइन्डरको क्रिस्टल प्लेनरको एक निश्चित दिशामा पनि प्रतिरोधक स्ट्रिपबाट बनेको छ, र दुई ट्यूबिइस तनाव प्रतिरोधी स्ट्रिपहरू र दुई कम्प्रेस्टन तनाव प्रतिरोधी स्ट्रिपहरू

Piezoressistive सेन्सर एक उपकरण एक उपकरण हो जसमा अर्ध मन्टोक्टरककार्केसर सामग्रीको सब्सट्रेटको सब्सट्रॉडर द्वारा अर्ध मन्टोक्टुवादी सामग्रीको पाईजोरसवादी प्रभाव अनुसार। यसको सब्सट्रेट सीधा मालीलो सेन्सरको रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ, र प्रसार प्रतिरोध एक पुलको रूपमा पुल मा सब्सट्रेटमा जोड्न सकिन्छ।

जब सब्सट्रेट बाह्य बल द्वारा संचालित हुन्छ, प्रतिरोध मूल्यमा परिवर्तन हुन्छ र पुलले समान असन्तुलित आउटपुट उत्पादन गर्दछ। सब्सट्रेटहरू (वा डायाफ्राग्राम) पाइजरेस्क्रिस्ट सेन्सरहरूको रूपमा प्रयोग गरिएको सिलिज्जल सेन्सरहरूको रूपमा प्रयोग गरिएको सिलिकन वेफर र जर्मनीनियम वेफर। सिलिकन वेफरहरूले सिलिनेसन वेफरबाट बनेको सेलीनरिक सेन्सरहरू अधिक र अधिक ध्यान आकर्षित गरेका छन्, विशेष गरी दबाब र गतिको लागि ठोस-राज्य पाइरेस्ट सेन्सरहरू सबैभन्दा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।