कार्टर उत्खननका लागि इन्जिन प्रेशर सेन्सर 2CP3-68 1946725

दबाब सेन्सर तयार गर्ने विधि, निम्न चरणहरू समावेश गरेर विशेषता:

S1, पछाडिको सतह र अगाडिको सतहको साथ वेफर प्रदान गर्दै;एक piezoresistive पट्टी र वेफर को अगाडि सतह मा एक भारी डोप सम्पर्क क्षेत्र गठन;वेफरको पछाडिको सतहलाई नक्काशी गरेर दबाबको गहिरो गुहा बनाउँदै;

S2, वेफरको पछाडि समर्थन पाना जोड्दै;

S3, वेफरको अगाडि छेउमा सीसा प्वालहरू र धातुको तारहरू निर्माण गर्दै, र व्हीटस्टोन ब्रिज बनाउन पिजोरेसिस्टिभ स्ट्रिपहरू जडान गर्दै;

S4, जम्मा गर्ने र वेफरको अगाडिको सतहमा प्यासिभेसन लेयर बनाउने, र धातु प्याड क्षेत्र बनाउनको लागि प्यासिभेसन तहको भाग खोल्ने।2. दाबी 1 अनुसार दबाव सेन्सरको निर्माण विधि, जसमा S1 ले विशेष रूपमा निम्न चरणहरू समावेश गर्दछ: S11: पछाडिको सतह र अगाडिको सतहको साथ वेफर प्रदान गर्दै, र वेफरमा दबाब संवेदनशील फिल्मको मोटाई परिभाषित गर्दै;S12: आयन प्रत्यारोपण वेफरको अगाडिको सतहमा प्रयोग गरिन्छ, piezoresistive स्ट्रिपहरू उच्च-तापमान फैलावट प्रक्रियाद्वारा निर्मित हुन्छन्, र सम्पर्क क्षेत्रहरू भारी मात्रामा डोप गरिएका हुन्छन्;S13: जम्मा गर्ने र वेफरको अगाडिको सतहमा सुरक्षात्मक तह बनाउने;S14: दबाब सेन्सेटिभ फिल्म बनाउनको लागि वेफरको पछाडि दबाबको गहिरो गुहा नक्काशी गर्ने र गठन गर्ने।3. दाबी 1 अनुसार दबाव सेन्सर को निर्माण विधि, जसमा वेफर SOI छ।

1962 मा, Tufte et al।पहिलो पटक डिफ्युज्ड सिलिकन पिजोरेसिस्टिभ स्ट्रिप्स र सिलिकन फिल्म संरचना भएको पिजोरेसिस्टिभ प्रेसर सेन्सर निर्माण गर्यो र पिजोरेसिस्टिभ प्रेसर सेन्सरमा अनुसन्धान सुरु गर्यो।1960 को दशकको अन्त र 1970 को प्रारम्भमा, सिलिकन एनिसोट्रोपिक एचिंग टेक्नोलोजी, आयन इम्प्लान्टेशन टेक्नोलोजी र एनोडिक बन्डिङ टेक्नोलोजी जस्ता तीन प्रविधिहरूको उपस्थितिले दबाब सेन्सरमा ठूलो परिवर्तन ल्यायो, जसले दबाब सेन्सरको प्रदर्शन सुधार गर्न महत्त्वपूर्ण भूमिका खेलेको थियो। ।सन् १९८० को दशकदेखि एनिसोट्रोपिक एचिङ, लिथोग्राफी, डिफ्युजन डोपिङ, आयन इम्प्लान्टेसन, बन्डिङ र कोटिंग जस्ता माइक्रोमेसिनिङ प्रविधिको थप विकाससँगै प्रेसर सेन्सरको साइज लगातार घटाइएको छ, संवेदनशीलतामा सुधार भएको छ, र आउटपुट उच्च छ। प्रदर्शन उत्कृष्ट छ।एकै समयमा, नयाँ माइक्रोमेसिनिङ प्रविधिको विकास र अनुप्रयोगले प्रेसर सेन्सरको फिल्म मोटाईलाई सही रूपमा नियन्त्रण गर्छ।