Passat इन्धन साझा रेल दबाव सेन्सर 06E906051K लागू

1. एक दबाव सेन्सर गठन को लागी एक विधि, समावेश:

अर्धचालक सब्सट्रेट प्रदान गर्दै, जहाँ पहिलो इन्टरलेयर डाइलेक्ट्रिक तह, पहिलो इन्टरलेयर डाइलेक्ट्रिक तह र दोस्रो इन्टरलेयर डाइलेक्ट्रिक तह अर्धचालक सब्सट्रेटमा बनाइन्छ।

पहिलो इन्टरलेयर डाइइलेक्ट्रिक लेयरमा तल्लो इलेक्ट्रोड प्लेट, तल्लो इलेक्ट्रोड प्लेटको रूपमा एउटै तहमा अवस्थित पहिलो म्युचुअल इलेक्ट्रोड र अलग ठाउँमा।

जोड्ने तहहरू;

तल्लो ध्रुवीय प्लेट माथि एक बलिदान तह गठन;

पहिलो इन्टरलेयर डाइलेक्ट्रिक लेयर, पहिलो इन्टरकनेक्शन लेयर र बलिदान तहमा माथिल्लो इलेक्ट्रोड प्लेट बनाउँदै;

बलिको तह बनाएपछि र माथिल्लो प्लेट बनाउनुअघि पहिलो अन्तरसम्बन्धित तहमा

जडान ग्रोभ बनाउँदै, र पहिलो इन्टरकनेक्शन तहसँग विद्युतीय रूपमा जडान गर्न माथिल्लो प्लेटसँग जडान ग्रूभ भर्दै; वा,

माथिल्लो इलेक्ट्रोड प्लेट बनाएपछि, जोड्ने ग्रूभहरू माथिल्लो इलेक्ट्रोड प्लेट र पहिलो अन्तरसम्बन्ध तहमा बनाइन्छ, जुन

माथिल्लो इलेक्ट्रोड प्लेट र जडान नालीमा पहिलो अन्तरसम्बन्ध तह जडान गर्ने एक प्रवाहकीय तह गठन;

माथिल्लो प्लेट र पहिलो इन्टरकनेक्शन लेयरलाई विद्युतीय रूपमा जडान गरिसकेपछि, बलिदान तह हटाएर गुहा बनाउनुहोस्।

2. दाबी 1 अनुसार दबाव सेन्सर गठन गर्ने विधि, जसमा पहिलो तहमा

इन्टरलेयर डाइलेक्ट्रिक तहमा बलिदान तह बनाउनको लागि विधि निम्न चरणहरू समावेश गर्दछ:

पहिलो इन्टरलेयर डाइलेक्ट्रिक तहमा बलिदान सामग्री तह जम्मा गर्दै;

बलिदानको तह बनाउनको लागि बलिदान सामग्री तहको ढाँचा बनाउँदै।

3. दाबी 2 अनुसार दबाव सेन्सर गठन गर्ने विधि, जसमा फोटोलिथोग्राफी र नक्काशी प्रयोग गरिन्छ।

बलिदान सामग्री तह नक्काशी प्रक्रिया द्वारा ढाँचा छ।

4. दाबी 3 अनुसार दबाव सेन्सर गठन गर्ने विधि, जसमा बलिदान तह

सामग्री अनाकार कार्बन वा जर्मेनियम हो।

5. दावी 4 अनुसार दबाव सेन्सर गठन गर्ने विधि, जसमा बलिदान तह

सामाग्री अनाकार कार्बन छ;

बलिदान सामग्री तहको नक्काशी गर्ने प्रक्रियामा प्रयोग हुने इचिङ ग्यासहरूमा O2, CO, N2 र Ar समावेश छन्;

बलिदान सामग्री तह नक्कल गर्ने प्रक्रियामा मापदण्डहरू छन्: O2 को प्रवाह दायरा 18 SCCM ~ 22 SCCM छ, र CO को प्रवाह दर 10% छ।

प्रवाह दर 90 SCCM देखि 110 SCCM सम्म, N2 को प्रवाह दर 90 SCCM देखि 110 SCCM सम्म, र Ar को प्रवाह दर।

दायरा 90 SCCM ~ 110 SCCM, दबाव दायरा 90 mtor ~ 110 mtor छ, र पूर्वाग्रह शक्ति हो

540w～660w।